2023-2029年电子特气系统行业深度调研及投资前景预测报告
电子特气根据气体性质不同一般分自燃气体、易燃爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;所以对应的特气系统也按此分为四类。主要应用于芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业,常配套用于溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等设备。
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