前道量检测设备市场规模较大且保持着稳定增长

1、前道量检测设备行业概述

（1）前道量检测设备是芯片制造产线中不可或缺的核心设备

前道量检测设备以光、电子束等介质作为主要工具，针对光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备的加工成果，进行关键指标的量测或潜在缺陷的检测，其使用场景覆盖扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、 CMP、清洗等芯片前道生产的几乎全部工序，具体情况如下：

资料来源：普华有策公开资料整理

区别于光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备，前道量检测设备属于“过程控制设备”，本身并不参与制造，但发挥着“指引”制造活动的作用：

一方面，良率系芯片制造的“生命线”，芯片产线须依赖前道量检测设备检测出产品的各类缺陷，并依此发现各工艺阶段的潜在问题，及时对工艺路线、设备搭配、产线参数等进行调整，进而提升芯片产线整体的产品良率。随着下游芯片需求的不断发展，芯片制造的工艺步骤亦在不断增多，工艺步骤的增多亦会导致产线的整体良率更加难以把控，从而导致产线对前道量检测设备的依赖不断提高。

另一方面，在进行制造工艺改进或工艺节点提升时，芯片产线亦须通过前道量检测设备获取精确的数据支持，以评判工艺方案的优劣，或指导相应的研发探索。例如，在多重曝光技术中，正是依靠了“套刻精度量测设备”对光刻工序后两层相邻光刻胶的“偏移量”的测定，才能验证多张掩膜版的相对位置是否精确，从而验证相关工艺是否可行，进而决定该技术的商业化价值。若无法得知精确数据，则多重曝光技术将无法顺利产业化。

因此，前道量检测设备是芯片制造产线中不可或缺的核心设备，前道量检测设备的技术水平，直接影响着芯片品质，并制约着芯片工艺的技术提升。

（2）前道量检测设备涉及多学科领域，结构精密复杂、制造难度大

从结构上看，前道量检测设备主要由传输单元、光路处理单元、信号单元、量检测单元等系统组成，包含成千上万个具体模块，每个具体模块的突破均需要企业长期的技术积淀。

从功能上看，前道量检测设备作为半导体行业的高精密仪器，需完成纳米级别的测量、检测工作，是半导体前道生产的“眼睛”和“医生”。前道量检测设备的功能属性决定了其必须具备“高精密度”的特质。

从技术上看，前道量检测设备涉及高真空腔传输技术、光谱检测技术、快速运算技术、高精度信号检测技术等多项技术的攻关，是光学、物理学、机械学、算法等多领域学科的技术结晶，技术壁垒较高，制造难度较大。

（3）前道量检测设备种类繁多，在自研突破的同时亦须兼顾产线的安全稳定生产

前道量检测设备是应用于前道过程控制的一系列设备的统称，不同于光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备，前道量检测设备的种类繁多，包括十余种大类和上百种型号，分别用于薄膜厚度、关键尺寸、套刻精度、刻蚀深度、表面形貌等关键指标的测量，以及颗粒沾污、图案缺陷、微观缺陷、机械划伤等一系列潜在缺陷的检测。

不同品类的前道量检测设备功能不同，其技术原理亦各有特点，每个细分领域均需较为深厚的技术积累和持续研发攻关，需投入较大精力开展自研。而对于产线而言，由于各道连续工序存在“木桶效应”，任何一个细分领域的量检测设备的欠缺，均会导致产线整体生产成果无法有效控制，进而对产线良率造成不利影响。

在上述背景下，一方面，需要国内企业不断在各个细分领域持续攻关，提高各类前道量检测设备能力；另一方面，也需要重视修复设备市场，通过修复设备市场的发展，持续为产线提供多品类的修复设备供应，维持产线的稳定运转，进而确保芯片制造的安全生产。

2、前道量检测设备行业规模情况

（1）前道量检测设备市场规模较大且保持着稳定增长

前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。

近年来，全球前道量检测设备市场呈现稳步增长。2019年至 2023年，全球前道量检测设备市场规模由51.87 亿美元增长至125.3亿美元。

（2）少数国际龙头企业主导全球前道量检测设备供应市场

前道量检测修复设备的市场格局， 主要呈现国际原厂修复部门占据大部分市场份额，卓海科技等第三方修复厂商展开与原厂修复部门的竞争，逐步提升自身市占率的情况。

与光刻机市场相似，前道量检测设备的技术壁垒高、制造难度大， 需要企业长时间的投入及技术积淀，供应市场呈现高度集中的格局。目前，全球前道量检测设备供应市场由 KLA、 AMAT、Hitachi 等少数国际龙头企业主导， 其总市场占有率超过七成。

为匹配摩尔定律下晶圆制造工艺的升级步伐，及时满足全球领先的晶圆制造企业对新一代设备的需求，并保持引领市场的竞争力，在有限的资金、产能、人力下，国际龙头企业一般会将更多精力投入研发生产先进制程设备。而对于成熟制程设备市场，国际龙头企业一般通过提供修复设备的方式，实现全方位的占据。

目前，国内先进制程的前道量检测设备市场，主要被 KLA、 AMAT 等国际龙头企业的新设备部门所占据，而成熟制程市场，主要被上述国际龙头企业的修复部门所占据。

（3）我国前道量检测设备行业处于发展初期

前道量检测设备结构精密复杂、制造难度大，而我国芯片产业起步又相对较晚，导致前道量检测设备的产业发展一直呈现较低水平。前道量检测设备行业仍属于我国的产业优势相对较弱的领域，尽管国家多年来持续鼓励半导体设备研发、国内自研企业均在不断钻研突破，但受限于行业起步较晚等因素，短期内预计仍无法满足芯片稳定生产的需求缺口，而作为“工业粮食”的芯片一旦欠缺，会直接影响诸多下游新兴领域的发展。因此，为保障产线的芯片产量和生产安全，在鼓励新设备自研的同时，应兼顾修复设备市场，进而保障芯片产线运行。

3、中外前道量检测设备行业能力行业比较

全球前道量检测设备市场中，以 KLA、 AMAT、 Hitachi 为代表的国际龙头企业进入市场时间较早、经营规模较大、产品布局丰富，具备较强的技术实力和自主研发能力。

我国在半导体前道量检测设备领域起步较晚，国内企业还处于初步发展阶段，虽然在部分细分领域实现了突破，但产品的成熟度还远远未能满足下游的迫切需求。与国际巨头 KLA、 AMAT、 Hitachi 相比，一方面，国内企业整体技术水平存在一定差距，另一方面较多国内企业的自研产品还处于客户验证等初级阶段，商业化程度不高，距离大规模、批量化交付，还需要较长的时间。

更多行业资料请参考普华有策咨询《2024-2030年前道量检测设备行业市场调研及发展趋势预测报告》，同时普华有策咨询还提供市场专项调研项目、产业研究报告、产业链咨询、项目可行性研究报告、专精特新小巨人认证、市场占有率报告、十五五规划、项目后评价报告、BP商业计划书、产业图谱、产业规划、蓝白皮书、国家级制造业单项冠军企业认证、IPO募投可研、IPO工作底稿咨询等服务。

目录

第一章 前道量检测设备行业相关概述

第一节 前道量检测设备行业定义及分类

一、行业定义

二、行业特性及在国民经济中的地位及影响

第二节 前道量检测设备行业特点及模式

一、前道量检测设备行业发展特征

二、前道量检测设备行业经营模式

第三节 前道量检测设备行业产业链分析

一、产业链结构

二、前道量检测设备行业主要上游2019-2023年供给规模分析

三、前道量检测设备行业主要上游2019-2023年价格分析

四、前道量检测设备行业主要上游2024-2030年发展趋势分析

五、前道量检测设备行业主要下游2019-2023年发展概况分析

六、前道量检测设备行业主要下游2024-2030年发展趋势分析

第二章 前道量检测设备行业全球发展分析

第一节 全球前道量检测设备市场总体情况分析

一、全球前道量检测设备行业的发展特点

二、全球前道量检测设备市场结构

三、全球前道量检测设备行业市场规模分析

四、全球前道量检测设备行业竞争格局

五、全球前道量检测设备市场区域分布

第二节 全球主要国家（地区）市场分析

一、欧洲

1、欧洲前道量检测设备行业市场规模

2、欧洲前道量检测设备市场结构

3、2024-2030年欧洲前道量检测设备行业发展前景预测

二、北美

1、北美前道量检测设备行业市场规模

2、北美前道量检测设备市场结构

3、2024-2030年北美前道量检测设备行业发展前景预测

三、日韩

1、日韩前道量检测设备行业市场规模

2、日韩前道量检测设备市场结构

3、2024-2030年日韩前道量检测设备行业发展前景预测

四、其他

第三章 《国民经济行业分类与代码》中前道量检测设备所属行业2024-2030年规划概述

第一节 2019-2023年所属行业发展回顾

一、2019-2023年所属行业运行情况

二、2019-2023年所属行业发展特点

三、2019-2023年所属行业发展成就

第二节 前道量检测设备行业所属行业2024-2030年规划解读

一、2024-2030年规划的总体战略布局

二、2024-2030年规划对经济发展的影响

三、2024-2030年规划的主要目标

第四章 2024-2030年行业发展环境分析

第一节 2024-2030年世界经济发展趋势

第二节 2024-2030年我国经济面临的形势

第三节 2024-2030年我国对外经济贸易预测

第四节2024-2030年行业技术环境分析

一、行业相关技术

二、行业专利情况

1、中国前道量检测设备专利申请

2、中国前道量检测设备专利公开

3、中国前道量检测设备热门申请人

4、中国前道量检测设备热门技术

第五节2024-2030年行业社会环境分析

第五章 普华有策对前道量检测设备行业总体发展状况

第一节 前道量检测设备行业特性分析

第二节 前道量检测设备产业特征与行业重要性

第三节 2019-2023年前道量检测设备行业发展分析

一、2019-2023年前道量检测设备行业发展态势分析

二、2019-2023年前道量检测设备行业发展特点分析

三、2024-2030年区域产业布局与产业转移

第四节 2019-2023年前道量检测设备行业规模情况分析

一、行业单位规模情况分析

二、行业人员规模状况分析

三、行业资产规模状况分析

四、行业市场规模状况分析

第五节 2019-2023年前道量检测设备行业财务能力分析与2024-2030年预测

一、行业盈利能力分析与预测

二、行业偿债能力分析与预测

三、行业营运能力分析与预测

四、行业发展能力分析与预测

第六章 POLICY对2024-2030年我国前道量检测设备市场供需形势分析

第一节 我国前道量检测设备市场供需分析

一、2019-2023年我国前道量检测设备行业供给情况

二、2019-2023年我国前道量检测设备行业需求情况

1、前道量检测设备行业需求市场

2、前道量检测设备行业客户结构

3、前道量检测设备行业区域需求结构

三、2019-2023年我国前道量检测设备行业供需平衡分析

第二节 前道量检测设备产品市场应用及需求预测

一、前道量检测设备产品应用市场总体需求分析

1、前道量检测设备产品应用市场需求特征

2、前道量检测设备产品应用市场需求总规模

二、2024-2030年前道量检测设备行业领域需求量预测

1、2024-2030年前道量检测设备行业领域需求产品功能预测

2、2024-2030年前道量检测设备行业领域需求产品市场格局预测

第七章 我国前道量检测设备行业运行分析

第一节 我国前道量检测设备行业发展状况分析

一、我国前道量检测设备行业发展阶段

二、我国前道量检测设备行业发展总体概况

第二节 2019-2023年前道量检测设备行业发展现状

一、2019-2023年我国前道量检测设备行业市场规模

二、2019-2023年我国前道量检测设备行业发展分析

三、2019-2023年中国前道量检测设备企业发展分析

第三节 2019-2023年前道量检测设备市场情况分析

一、2019-2023年中国前道量检测设备市场总体概况

二、2019-2023年中国前道量检测设备市场发展分析

第四节 我国前道量检测设备市场价格走势分析

一、前道量检测设备市场定价机制组成

二、前道量检测设备市场价格影响因素

三、2019-2023年前道量检测设备价格走势分析

四、2024-2030年前道量检测设备价格走势预测

第八章 POLICY对中国前道量检测设备市场规模分析

第一节 2019-2023年中国前道量检测设备市场规模分析

第二节 2019-2023年我国前道量检测设备区域结构分析

第三节 2019-2023年中国前道量检测设备区域市场规模

一、2019-2023年东北地区市场规模分析

二、2019-2023年华北地区市场规模分析

三、2019-2023年华东地区市场规模分析

四、2019-2023年华中地区市场规模分析

五、2019-2023年华南地区市场规模分析

六、2019-2023年西部地区市场规模分析

第四节 2024-2030年中国前道量检测设备区域市场前景预测

一、2024-2030年东北地区市场前景预测

二、2024-2030年华北地区市场前景预测

三、2024-2030年华东地区市场前景预测

四、2024-2030年华中地区市场前景预测

五、2024-2030年华南地区市场前景预测

六、2024-2030年西部地区市场前景预测

第九章 普●华●有●策对2024-2030年前道量检测设备行业产业结构调整分析

第一节 前道量检测设备产业结构分析

一、市场细分充分程度分析

二、下游应用领域需求结构占比

三、领先应用领域的结构分析（所有制结构）

第二节 产业价值链条的结构分析及产业链条的整体竞争优势分析

一、产业价值链条的构成

二、产业链条的竞争优势与劣势分析

第十章 前道量检测设备行业竞争力优势分析

第一节 前道量检测设备行业竞争力优势分析

一、行业整体竞争力评价

二、行业竞争力评价结果分析

三、竞争优势评价及构建建议

第二节 中国前道量检测设备行业竞争力剖析

第三节 前道量检测设备行业SWOT分析

一、前道量检测设备行业优势分析

二、前道量检测设备行业劣势分析

三、前道量检测设备行业机会分析

四、前道量检测设备行业威胁分析

第十一章 2024-2030年前道量检测设备行业市场竞争策略分析

第一节 行业总体市场竞争状况分析

一、前道量检测设备行业竞争结构分析

1、现有企业间竞争

2、潜在进入者分析

3、替代品威胁分析

4、供应商议价能力

5、客户议价能力

6、竞争结构特点总结

二、前道量检测设备行业企业间竞争格局分析

1、不同规模企业竞争格局

2、不同所有制企业竞争格局

3、不同区域企业竞争格局

三、前道量检测设备行业集中度分析

1、市场集中度分析

2、企业集中度分析

3、区域集中度分析

第二节 中国前道量检测设备行业竞争格局综述

一、前道量检测设备行业竞争概况

二、重点企业市场份额占比分析

三、前道量检测设备行业主要企业竞争力分析

1、重点企业资产总计对比分析

2、重点企业从业人员对比分析

3、重点企业营业收入对比分析

4、重点企业利润总额对比分析

5、重点企业负债总额对比分析

第三节 2019-2023年前道量检测设备行业竞争格局分析

一、国内主要前道量检测设备企业动向

二、国内前道量检测设备企业拟在建项目分析

三、我国前道量检测设备市场集中度分析

第四节 前道量检测设备企业竞争策略分析

一、提高前道量检测设备企业竞争力的策略

二、影响前道量检测设备企业核心竞争力的因素及提升途径

第十二章 普华有策对行业重点企业发展形势分析

第一节 企业五

一、企业概况及前道量检测设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2019-2023年主要经营数据指标

五、企业发展战略规划

第二节 企业二

一、企业概况及前道量检测设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2019-2023年主要经营数据指标

五、企业发展战略规划

第三节 企业三

一、企业概况及前道量检测设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2019-2023年主要经营数据指标

五、企业发展战略规划

第四节 企业四

一、企业概况及前道量检测设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2019-2023年主要经营数据指标

五、企业发展战略规划

第五节 企业五

一、企业概况及前道量检测设备产品介绍

二、企业核心竞争力分析

三、企业主要利润指标分析

四、2019-2023年主要经营数据指标

五、企业发展战略规划

第十三章 普●华●有●策对2024-2030年前道量检测设备行业投资前景展望

第一节 前道量检测设备行业2024-2030年投资机会分析

一、前道量检测设备行业典型项目分析

二、可以投资的前道量检测设备模式

三、2024-2030年前道量检测设备投资机会

第二节 2024-2030年前道量检测设备行业发展预测分析

一、产业集中度趋势分析

二、2024-2030年行业发展趋势

三、2024-2030年前道量检测设备行业技术开发方向

四、总体行业2024-2030年整体规划及预测

第三节 2024-2030年规划将为前道量检测设备行业找到新的增长点

第十四章 普●华●有●策对 2024-2030年前道量检测设备行业发展趋势及投资风险分析

第一节 2019-2023年前道量检测设备存在的问题

第二节 2024-2030年发展预测分析

一、2024-2030年前道量检测设备发展方向分析

二、2024-2030年前道量检测设备行业发展规模预测

三、2024-2030年前道量检测设备行业发展趋势预测

四、2024-2030年前道量检测设备行业发展重点

第三节 2024-2030年行业进入壁垒分析

一、技术壁垒分析

二、资金壁垒分析

三、政策壁垒分析

四、其他壁垒分析

第四节 2024-2030年前道量检测设备行业投资风险分析

一、竞争风险分析

二、原材料风险分析

三、人才风险分析

四、技术风险分析

五、其他风险分析