前道量检测设备行业面临的机遇和挑战行业主要企业
半导体设备行业中，前道量检测设备主要运用光学技术、电子束技术等测量晶圆的薄膜厚度、关键尺寸等，或检测产品表面存在的杂质颗粒、机械划伤、晶圆图案缺陷等，贯穿光刻、刻蚀、薄膜沉积、CMP 等晶圆制造的全部工序。前道量检测设备根据使用目的可分为测量设备和检测设备：其中，测量设备主要是对晶圆的薄膜厚度、关键尺寸、套准精度、刻蚀深度、表面形貌等进行测量，以确保其符合参数的设计要求；而检测设备主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、晶圆图案缺陷、微观缺陷观测、机械划伤等问题。
资料来源：普华有策
1、前道量检测设备行业面临的机遇
（1）国家政策的大力支持
半导体产业是现代经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业，已成为当前衡量一个国家或地区综合竞争力的重要标志。为鼓励、推动产业发展，国家出台了一系列财政、税收政策。2017 年 1 月，发改委发布的《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》将半导体专用设备产业列入战略性新兴产业重点产品目录。2021 年 3 月，“十四五”规划将集成电路设计工具、重点装备等特色工艺突破作为加强原创性、引领性科技攻关的重点任务。前道量检测设备领域也受益于国家对半导体产业的支持政策，迎来了良好的发展机遇。
（2）下游需求持续增长
汽车电子、消费电子等终端应用领域的繁荣发展，推动了我国晶圆制造产线建设步伐加快。数据显示，2017 年至 2020 年间，全球投产的晶圆厂约 62 座，其中 26 座设于中国大陆；至 2020 年末，全球晶圆产能达到每月 3,184万片，其中，中国大陆晶圆产能占全球比例为 15.8%。
下游晶圆制造产线的快速建设，对前道量检测设备需求持续增长。2016 年至 2020 年，中国大陆前道量检测设备市场规模由 7.0 亿美元增长至 21.0 亿美元，年复合增长率达到 31.61%，市场规模占全球量检测设备市场的比例由 14.71%增长至 27.45%，已成为全球增速最快且占比最大的前道量检测设备市场。
（3）我国成熟制程产线对前道量检测设备的需求缺口亟需缓解
由于国际龙头企业逐步不再生产成熟制程前道量检测设备，且前道量检测设备的国产化率仅为 2%，我国成熟制程晶圆制造产线面临着较大的供应缺口。前道量检测修复设备作为市场的重要组成，有效缓解了成熟制程设备供应紧张的局面，支持了我国半导体产线的建设。
2、前道量检测设备行业面临的挑战
（1）专业人才仍相对匮乏
前道量检测设备涉及多学科技术，是典型的技术密集型、人才密集型产业。虽然我国半导体产业已储备了一定的技术人员，但仍难以满足市场需求的快速增长，专业人才仍相对匮乏。
（2）国内企业整体技术水平及综合实力仍与国际先进水平存在一定差距
日本、美国等国家在前道量检测设备领域起步较早，拥有大量的技术积累和完善的产业链配套环境，在经营规模、产品种类、技术水平、品牌声誉等方面具备领先优势，综合实力强。我国前道量检测设备产业起步较晚，国内企业在整体技术水平、企业规模、人才储备、产品品类等方面仍与国际先进水平存在一定差距。
3、前道量检测设备行业内主要企业
前道量检测设备市场的供应格局相对集中，主要由 KLA、AMAT、Hitachi等国际龙头企业主导，其在销售规模、产品种类及先进程度、市场占有率等方面具备领先优势。近年来，随着我国半导体产业的快速发展，下游对前道量检测设备需求快速增长，涌现了中科飞测、上海精测、睿励仪器、无锡卓海等具备前道量检测设备供应能力的企业，具体如下：
（1）全球主要的前道量检测设备企业
1）KLA
KLA 是一家为半导体、印刷电路板和显示器等行业提供工艺支持解决方案的供应商。在半导体量检测领域，其产品线涵盖了质量控制全系列设备。目前为美国纳斯达克证券交易所上市企业，股票代码：KLAC。
2）AMAT
AMAT 成立于 1967 年，是一家为半导体、显示器和相关行业提供设备、服务和软件的制造商及供应商，其产品涵盖刻蚀设备、离子注入机、晶圆量检测等各类半导体设备。目前为美国纳斯达克证券交易所上市企业，股票代码：AMAT。
3）Hitachi
Hitachi 成立于 1910 年，是一家涉及电力、能源、产业、流通、水、城市建设、金融、医疗健康等领域的全球 500 强企业。在半导体设备领域，其为全球第三大前道量检测设备供应商。目前为美国纽约证券交易所上市企业，股票代码：HTHIY。
（2）国内前道量检测设备供应企业
1）中科飞测
深圳中科飞测科技股份有限公司专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等。
2）上海精测
上海精测半导体技术有限公司主要从事半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备，产品主要包括膜厚测量机、激光切割机等，系武汉精测电子集团股份有限公司（精测电子，300567）的控股子公司。
3）睿励仪器
睿励科学仪器（上海）有限公司主要从事集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备的研发、生产和销售，主要产品包括光学薄膜测量设备、光学关键尺寸测量设备、缺陷检测设备等，系中微半导体设备（上海）股份有限公司（中微公司，688012）的参股子公司。
4）吉姆西
吉姆西半导体科技（无锡）有限公司主要从事半导体修复设备和研磨液供液系统等业务，涵盖 CMP、离子注入、量检测、光刻、涂胶显影、清洗等半导体修复设备，系半导体修复设备供应企业。
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